Журналы →
Материалы электронной техники →
2012 →
№1 →
Назад
Назад
| ОБЩИЕ ВОПРОСЫ | |
| Название | Сравнительные характеристики однослойных и двухслойных тензопреобразователей давления на основе структур кремний–на–сапфире |
| Автор | А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов, А. И. Козлов |
| Информация об авторе | ЗАО МИДАУС А. А. Устинов, А. И. Козлов
Ю. С. Нагорнов |
| Реферат | Рассмотрены сравнительные характеристики полупроводниковых тензорезисторных преобразователей давления на основе структур кремний−на−сапфире. Исследованы два вида конструкции тензорезисторных преобразователей: с однослойным упругим элементом на керамическом основании и с двухслойным упругим элементом из сапфира и металла. Показано, что однослойные тензорезисторные преобразователи обладают лучшими характеристиками, чем двухслойные, но они имеют ограниченное применение по диапазонам измеряемого давления. |
| Ключевые слова | Датчик давления, тензопреобразователь давления, структура кремний−на−сапфире |
| Language of full-text | русский |
| Полный текст статьи | Получить |
