ПЕРЕРАБОТКА И КОМПЛЕКСНОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МИНЕРАЛЬНОГО СЫРЬЯ | |
Название | Переработка кварцевого сырья на поликристаллический кремний в потоке аргоново-водородой плазмы |
Автор | Гришин Ю. М., Козлов Н. П., Скрябин А. С., Борисов Л. А. |
Информация об авторе | МГТУ им. Н. Э. Баумана: Гришин Ю. М., проф., д-р техн. наук, e-mail: ygrishin@pover.bmstu.ru Козлов Н. П., зав. отделом, д-р техн. наук, e-mail: kozlov1929@mail.ru Скрябин А. С., доцент, канд. техн. наук, e-mail: terra107@yandex.ru
ФГУП «ЦЕНТРКВАРЦ»: Борисов Л. А., зам. генерального директора — главный инженер, e-mail: la-quartz@mail.ru |
Реферат | Проведен цикл теоретических и экспериментальных исследований плазмохимического метода получения кремния из кварца и твердого монооксида кремния. Определены критерии реализации предлагаемого метода и установлено влияние основных режимных параметров процесса на его эффективность. Даны рекомендации по выбору основных режимных и конструктивных параметров плазменной установки. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке РФФИ (проект № 12-08-31138) и Госзаказа Минобрнауки № 7.3319.2011. |
Ключевые слова | Кварцевое сырье, монооксид кремния, поликристаллический кремний, переработка минерального сырья, плазменные технологии |
Библиографический список | 1. New processes for the production of solar-grade polycrystalline silicon: A review / A.F.B. Braga [et. al.] // Solar Energy Materials & Solar Cells. 2008. № 92. Р. 418–424. |
Language of full-text | русский |
Полный текст статьи | Получить |